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Descrição | Bomba turbomolecular de rolamento magnético |
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Código interno | IMP4770507 |
Especificação técnica | Número do artigo 412200V0504 DN 250 ISO-F com conversor de frequência/fonte de alimentação integrado Velocidade de sucção: 2100 l/s para N2 1900 l/s para Ar 1750 l/s para H2 2050 l/s para He Pressão final: < 1.0E-08 mbar Pressão máxima de pré-vácuo: 2,5 mbar (N2) Vazão máxima de gás N 2:17 mbarxl/s (operação contínua) Vazão máxima de gás N 2:30 mbarxl/s (brevemente) Flange de alto vácuo: DN 250 ISO-F Flange de pré-vácuo: DN 40 KF Flange de purga/ventilação: DN 16 KF (parafuso de fixação) RS 232 no slot de serviço ProfiBus na ranhura de controle |